催化剂焚烧炉的设计是依废气风量，VOCs浓度及所需知***去除效率而定。操作时含VOCs的废气用系统风机导入系统内的换热器，废气经由换热器管侧(Tubeside)而被加热后，再通过燃烧器，这时废气已被加热至催化分解温度，再通过催化剂床，催化分解会释放热能，而VOCs被分解为二氧化碳及水气。之后此一热且经净化气体进入换热器之壳侧(shellside)将管侧(tubeside)未经处理的VOC废气加热，此换热器会减少能源的消耗，后，净化后的气体从烟囱排到大气中。
直燃式焚烧炉的设计是依废气风量，VOCs浓度及所需知***去除效率而定。操作时含VOCs的废气用系统风机导入系统内的换热器，废气经由换热器管侧(Tubeside)而被加热后，再通过燃烧器，这时废气已被加热至催化分解温度(650~1000℃)，并且有足够的留置时间(0.5~2.0秒)。这时会发生热反应，而VOCs被分解为二氧化碳及水气。之后此一热且经净化气体进入换热器之壳侧(shellside)将管侧(tubeside)未经处理的VOC废气加热，此换热器会减少能源的消耗(甚至于某适当的VOCs浓度以上时便不需额外的燃料)，后，净化后的气体从烟囱排到大气中。
含有机物的_废气经风机的作用，经过活性炭吸附层，有机物质被活性炭特有的_作用力截留在其内部，洁净气体排出；经过一段时间后，活性炭达到饱和状态时，_停止吸附，此时有机物已被浓缩在活性炭内。
在将废气进行催化净化的过程中，废气经管道由风机送入热交换器，将废气加热到催化燃烧所需要的起始温度。经过预热的废气，通过催化剂层使之燃烧。由于催化剂的作用，催化燃烧法废气燃烧的起始温度约为250～300摄氏度，大大低于直接燃烧法的燃烧温度650～800摄氏度，高温气体再次进入热交换器，经换热冷却，终以较低的温度经风机排入大气。
催化净化是典型的气固相催化反应，其实质是活性氧参与的深度氧化作用。在催化净化过程中，催化剂的作用是降低活化能，同时催化剂表面具有吸附作用，使反应物分子富集于表面提高了反应速率，加快了反应的进行；借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰燃烧，并氧化分解为CO2和H2O，同时放出大量热能，从而达到去除废气中的***物的方法。
