水洗法:利用虹吸以及离心原理，将混合于水的净化剂通过虹吸原理吸入其电机底座的同轴离心涡轮下部的吸管中，通过交流罩极电机高速旋转，再利用离心原理，将混合于水的净化剂喷在瓶胆内形成一层水膜，将空气中的灰尘以及***吸入水中，同时将经过净化的空气吹入室内，快速有效地去除室内的***1素生物、灰尘、烟味、臭味、病毒等，并产生大量的新鲜氧气。洁净实验室设计时，预先考虑和计算好机械设备占用面积很重要，在设计阶段，要秉持灵活性原则，为未来发展需要做好准备，这样的实验室设计方案更利于进一步的扩张和修改，以及添加新设备和工具。
成品保护后续工序施工时，地板面需盖上干净的布匹，防止损坏和污染。辅助用房地砖面层：按设计要求和有关标准选材，粘贴做到不空鼓，平整度、高低差＜1mm，砖缝用专用的勾缝胶勾缝，做到平整、与地砖粘结牢固。洁净***室门宜采用设有自动延1时关闭装置的电动悬挂式自动推拉门，设计为弹簧门，应以铝合金制作，要达到密封和易洁净的要求。翻边应是平的，靠近法兰，不应盖上螺丝孔，四个角应平整，不应有开口，如果法兰上有裂缝或孔，应涂上密封胶，以避免漏气。
可以认为,当今微污染控制领域诸多科技成果的出现无不与集成电路生产的飞速发展有关。集成电路工厂的前工序(硅片加工)对微环境控制为严格。在防微振方面,要求工厂建造在远离铁路、机场、公路干线且绿化较好的地区,厂区总平面布置要求单建的动力站房与洁净厂房之间留有足够的距离。我国对防微振的研究及工程实践始于20世纪60年代初期,经历了几代人的努力,不仅建立和完善了防微振理论,开发了防微振用系列化隔振产品。5X10-3mm/s以下,在光刻工序,很小的微振动会引起对位不准,影响产品的成品率。
