LIBS弥补了传统元素分析方法的不足，尤其在微小区域材料分析、镀层/薄膜分析、缺陷检测、珠宝鉴定、法医证据鉴定、粉末材料分析、合金分析等应用领域优势明显，同时，LIBS还可以广泛适用于地质、煤炭、冶金、制药、环境、科研等不同领域的应用。除了传统的实验室的应用，LIBS还是为数不多的可以做成手持便携装置的元素分析技术，更是为止被认为可以做在线分析的元素分析技术。原子发出的光可以被检测器捕获并记录为光谱，通过对光谱进行分析，即可获得样品中存在何种元素的信息，通过软件算法可以对光谱进行进一步的定性分析（例如材料鉴别，PMI）和定量分析（例如，样品中某一元素的含量）。这将使分析技术从实验室领域极大地拓展到户外、现场、甚至生产工艺过程中。
LIBS的产业化进程
LIBS概念自20世纪60年代提出以来，因各种原因，一直以来主要用于科学研究领域。随着技术的不断突破，例如稳定可靠的激光器、高分辨率光谱仪、以及分析软件技术等进展，LIBS的产业化在近十年中有了快速的发展，使其成为可以真正应用于实验室甚至工业现场的实用分析仪器。它利用高能量聚焦脉冲激光光束激发样品表面，对产生的原子光谱进行分析得到对应元素成分及含量。其中比较有代表性的是TSI推出的ChemReveal 台式LIBS激光诱导击穿光谱仪，除了拥有LIBS通常具有的特点，其内置的双摄像头、微秒级时序控制、微米级XYZ三轴样品台控制、以及可编程的量化分析软件等功能，使仪器的可靠性、可重复性和操作便利性达到了商业或工业应用的要求。
激光诱导击穿光谱相结合，实现了LIBS与LA-ICP1MS的同时测量，具备多种测量功能：同时测量常量、微量元素及同位素；分析有机元素及轻元素；快速元素制图。可用于矿物元素定量分析、锆石U-Pb定年、矿物熔体及流体包裹体分析、微区同位素分析和定年技术研究等地质研究领域。能够同时测定主要元素、微量元素以及同位素，快速绘制元素图。在定量分析中，通过LIBS获得的测量结果的相对标准偏差可以达到3-5%以内，而对于均质材料通常可以到2%以内甚至lt。
激光剥蚀进样系统可与市面上的普通四极杆质谱仪、飞行时间质谱仪和多接收质谱仪等常见质谱仪联用。
