恒兴星光栅尺-光栅尺-诺信光栅尺(查看)

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机械部分对精度的影响：

安装精度。轴承的精度与结构精度。光学组建安装的精度。

例如，就轴承的结构而言，单轴承支撑结构的轴承偏差无法消除，而且经使用后偏差会更大，而双轴承结构或多支承结构，可有效降低单个轴承的偏差。

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莫尔条纹的变化规律

两片光栅相对移过一个栅距，莫尔条纹移过一个条纹距离。由于光的衍射与干涉作用，莫尔条纹的变化规律近似正(余)弦函数，变化周期数与光栅相对位移的栅距数同步。

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电气部分对精度的影响：

电源的稳定精度—对光发射源与接收单元的影响。

读取响应与电气处理电路带来的误差；

电气噪音影响，取决于光栅尺电气系统的抗干扰能力；

例如，如果电子细分，也会带来的误差，按照德国海德汉提供的介绍，海德汉光栅尺的细分电气误差与正余弦曲线误差会有一个很小的差异。