影像测量仪常见故障分为升降传动故障、工作台故障、投影屏故障、投影成像故障、影像成像故障、电气故障、电子故障以及精度故障等。影像测量仪升降传动故障。常见的有升降有异响、无法上升，下降、下降有坠落感，弹跳、传动时空回间隙大、微调不传动、投影屏框松动等。影像测量仪工作台故障。一般容易出现光杆空转、光杆传动有弹跳、磨擦传动时不顺、工作台运动有响声、工作台运动有卡滞现象等。
在不接电源的情况，影像测量仪渠道外表可以用拧干或干的干净软布擦洗，其他重要部分应由***人员清洁，避免漏电事故。所谓的“一次元 ”是指个点的世界；影像测量仪在Z轴上的尺寸测量误差( Ez): 该丈量差错代表在垂直于印象丈量平面方向，单轴方向丈量的示值差错。影像测量仪排除法，排除法便是当仪器毛病时，能够拔掉一些机内插件板或器材，假设某一器材被拔掉后仪器***正常，就阐明被拔掉的部分出了问题，需求替换。
影像测量仪充分综合了投影仪及工具显微镜、卡尺、千分尺、千分表、百分表等等测量工具的特点。影像测量仪只开顶灯时相当于工具显微镜，只开底灯测量时相当于投影仪，移动导轨采用无牙丝杆式导轨，充分保证了设备在移动时的线性精度。影像测量仪在平面上的尺寸测量误差(Exy): 该丈量差错代表在印象丈量平面上任意方向摆放产品或样件，丈量二维尺度的示值差错。影像测量仪常用的办法便是调查仪器，运用视觉、嗅觉、触觉、听觉等，看仪器是否有烧焦味、是否有斑驳、是否有噪音。
