洁净室的分类
层流式(Laminar): 层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。(2)洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。 优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。 缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
净化工程洁净室的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。静电电引起的静电电ji,引起人的不安全和恐惧感,并可造成二次伤害(例如人因受电ji而摔倒,由摔倒又致伤)。 (2)洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。***、食品业界及半导体业界均适用。
净化工程墙面:
***室电解钢墙面:采用型钢龙骨骨架,面层安装1.2mm厚,电解钢板,电解钢板背衬12厚石膏板基层,钢板在工厂加工成型,到现场拼装,板与板之间点焊,板缝补原子灰处理,面层喷抗jun漆,墙与顶、墙与墙直角的转角采用圆弧形转角。这里有必要先说明一下无窗洁净室的照明方式:(1)一般照明它指不考虑特殊的局部需要,为照亮整个被照面积而设置的照明。完成后的墙面为整体无缝。
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净化工程——洁净室
对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;
(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。