目前有很多都达到了微米甚至纳米级别，带来了十年前无法提供的种种优势。这些器械具有需小心保护的内部电子元件（植入式或外部）。由于这些电子元件体积微小，没有足够的重量进行沉降、喷涂或涂刷，因此无法采用常规的敷形保护涂层。一些微小的装置还会受到气隙、厚度不均以及很多涂层内在的其他因素的不良影响。对于植入式微电子元件来说，保护涂层还必须具有生物相容性。
派瑞林（Parylene）涂层靠自身特性的优势，为植入应用提供一种具有生物相容性的超薄涂覆选择，尤其是对那些需要保护电子元件的应用。
由于派瑞林是气相沉积，它可涂覆于极细微的空间和孔隙。由于其分子级聚合作用，即一次一个分子附着于沉积表面，派瑞林涂层超薄，不会形成气孔，并能敷形涂布于元件上。派瑞林还能满足微小尺寸和极轻重量的装置的严格要求。任何用来保护微型装置的材料都不得影响其体积或重量。派瑞林不会显著增加质量——这对微型植入装置来说是非常关键的一个优势。
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前真空涂敷技术中应用广泛的是聚对技术，聚对技术是一种敷形的对聚合物固体涂层材料，聚对真空涂敷过程是在分子状态下进行的，固态的化合物在真空状态下被汽化，汽化的气体再进行分子化，二聚物在高温分解区，分解为两个二价基单聚物。
单聚物分子进入涂敷设备的沉积仓，在仓内的各个表面上重新聚合成长链的高聚物。然后在沉积腔中进行沉积涂敷。整个涂敷过程中，保证汽化分子均匀一致地涂敷到部件的表面上。
Parylene的特征之一是它们可以形成极薄的膜层。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流击穿电压被确定与高聚物厚度有肯定的关系。图3画出了相干的曲线。对于5个微米（0.0002inch）以下的薄膜,这方面的性能ParyleneC要强于ParyleneN。这些数据注解，两种Parylene材料都具有很好的绝缘性能，即使厚度小于1个微米。随着厚度的减小，单位厚度的击穿电压一样平常将升高。
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