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7、泵大修时必须用溶剂或清洗剂将泵的各部件清洗干净，并将部件烘干。 8、加油用具必须有是专用设备，不应是盛过其它油品或溶剂的容器;抽泵。 9、矿物油与酯油或其它合成油互换时，应将泵拆开作彻底清洗。包括各零部件均须浸渍在酯油内以防污染。
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综合性而言，真空泵跟汽车一样，应用全过程中也必须维护***，矿物质机油跟合成机油的使用期和应用实际效果都是有区别，挑选恰当的真空泵油，尽量减少因真空泵油错误操作导致机器设备的应用出现异常。
机械真空泵的特殊工作条件要求真空泵油应具有以下性能：
（1）极低的蒸汽压：这是真空泵油的性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10-4Pa（或10-6mmHg），高的要求达到1.33×10-6Pa（10-8mmHg）以下，这就要求真空泵油的蒸发性极低，而且要求消耗量，以防蒸发。一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸汽压很低的硅油或其它合成油。
良好的抗腐蚀性与抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学变化，腐蚀泵内金属零件。另外，吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性（水分离性能）。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。
