真空炉一般由主机、炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统、控温系统和炉外运输车等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质，炉壳一般用水冷或气冷降温。炉膛位于密封炉壳内。根据炉子用途,炉膛内部装有不同类型的加热元件，如电阻、感应线圈、电极和电子枪等。熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩埚，有的还装有自动浇注装置和装卸料的机械手等。真空系统主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。
现代真空热处理均具有自动微处理器控制，以确保零件均按照确切的特定设计要求进行处理。通过程序控制，可以确保每次运行都重复与以前的负载相同的处理，并且长时间的图形图表可确保每项工作的可追溯性。
热电偶和电离真空计可连续监控炉内温度和气氛的质量，并互锁安全功能，以防止意外损坏用户零件。
为了更大程度地减少停机时间并在出现故障时迅速制定交付计划，提供了经过校准和认证以匹配主要设备的备用监控设备。
为了保持工厂清洁，以保持工厂大气不受污染，做出了更加的努力。在钎焊高质量组件时，这一点尤其重要。
随着真空热处理技术及其相关设备的发展，这几年逐步发展出了一批新技术，这些新技术反过来也推动了真空热处理在更多领域的应用。其中，真空氢气复合净化就是这些新技术中的佼佼者，它打破了以往使用氢气炉时容易受到各种外在环境制约的影响，并且还极大地提高了使用安全性。
在民用市场领域，针对该技术的研究和应用推动了我国金刚石制造技术的进步。在领域，该技术在软磁合金和电工纯铁的热处理方面发挥了重要作用，通过采用此项技术使得产品磁性能得到了明显提高，而产品矫顽力却得到了显著降低。
