直接燃烧法所用的燃烧设备可以是工业用和民用燃烧炉，如锅炉或家庭炉灶；也可以是
专用的火炬燃烧器。当将尾气作为民用炉灶燃料时，必须配置尾气气柜，以保持尾气产生量与处理量之间的平衡。当采用火炬燃烧器处理有机废气时，火炬燃烧器应专门设计，以保证在有机废气气量或有机物发生波动时，火炬燃烧器都能将废气中有机物基本燃烧完全。
可燃物在催化燃烧设备作用下燃烧。与直接燃烧相比，催化燃烧设备温度较低，燃烧比较完全。催化燃烧所用的催化剂为具有大比表面的***和金属氧化物多组分物质。例如家用负载Pd或稀土化合物的催化燃气灶，可减少尾气中CO含量，提高热效率。负载0.2%pt的氧化铝催化剂，在500℃下，可将大多数有机化合物燃烧。催化燃烧设备为无焰燃烧，因此适用于安全性要求高的场合，如以H2和O2为原料的燃料电池、用酒精为原料的怀炉(催化剂为浸Pt石棉)等。如消除化工厂NOx的烟雾，可加燃料到烟雾中，通过负载型铂和钯催化剂，催化燃烧使NOx转化为N2气。
催化燃烧法是在催化剂的作用下将废气中的有机污染物完全氧化成CO2和H2O。催化燃烧法的起燃温度低，安全性能好，对需净化有机物的浓度限制小，这使催化燃烧设备较多应用于低浓度有机污染物的处理，但废气中的尘粒和雾滴有可能使催化剂寿命降低，因而催化燃烧设备不宜于处理含尘粒和雾滴的有机废气。(1)催化燃烧设备催化燃烧的催化剂有***催化剂、非***催化剂和稀土金属催化剂，通常将催化剂的活性组分载到载体上制成粒状或蜂窝状使用。(2) 催化燃烧设备的流程与设备
