元素氟和硫直接反应法。
直接电解法 将硫、二氯化liu、一氯化硫、二liu化碳或***等加入到无水***中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。这个过滤器就像防毒面具的过滤装置一样，装有活性炭和其它分子复合附剂，过滤掉氢i氟酸、二氧化碳、氟化硫醯、十氟化二硫一氧，粉尘等，保护人员安全。用***与无水***电解时，以镍作极，铁作阴极，温度为－10～20℃，电压为7～20V。电解产物应除去杂质;催化氧化法 金属氧化物为催化剂，于300℃下，用空气氧化四氟hua硫，该法缺点是收率过低。
热解法，在500～2000℃使SF4热解，但该法的转换率及收率皆低，采用微波放电分解SF4亦可。如果所有包扎薄膜内SF6气体的浓度均小于30ppm，则认为该气室漏气率合格。氟hua钴法 将硫磺或其他硫化物在三fu化钴和二氯hua钴存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。***与氟燃烧法。联产法 氯氟代***和六氟化硫联产，氟化碳（COF2）与六氟化硫联产。
如果六氟化硫气体中含有超过规定的水分，当其湿度发生变化时，就可能凝结在固体绝缘表面使该面变潮，这时设备的沿面放电电压将显著下降。电弧熄灭后，绝大部分的分解产物又重新结合成稳定的六氟化硫分子。六氟化硫气体在电弧和电晕作用下分解生成的低氟化合物气体，假如没有水分子这个外部条件是不会生成SO2、HF及其它***物质的，从而也就可以避免由它们产生的设备腐蚀。所以，设备充装六氟化硫气体必须严密措施防止水分进入。
为什么六氟化硫气体纯度不纯了？
（1）六氟化硫气体纯度不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、***等有***体。大家知道，目前化工行业制造六氟化硫气体的方法主要是采用单质硫磺与过量气态氟直接化合反应而成；即S 3F2→SF6 Q（放出热量） 。在合成的粗品中含有多种杂质，其杂质的组成和含量因原材料的纯 度、生产设备的材质、工艺条件等因素的影响而有很大差异，杂质总含量可达5%。其组成有硫氟化合物，如：S2、F2、SF2、SF4 等；硫氟氧化合物如SOF2、SO2F2、 SOF4 等 以及原料中带入的杂质如 HF、OF2、CF4、N2、O2等。为了净化粗品中的杂质，合成后的 SF6气体还需要经过水洗、碱洗、热解（去除剧i毒的十氟化物） 、干燥、吸附、冷冻、蒸馏提纯等一系列净化处理过程才能得到纯度在99.8%以上的产品。然后再用压缩机加压，充入降温至 -80℃左 右的钢瓶中，以液态形式存在。在使用时减压放出，呈气态冲入电气设备中。六氟化硫的成本只有NF3的几分之一，近年来，各公司以廉价的SF6取代以往CVD工艺中作为清洗气体的NF3的新技术正被广泛研究。
除在上面的合成过程中产生的杂质外，另外， 在气体的充装过程中还可能混入少量的空气、水分、和矿物油等杂质，这些杂质均带有或会产生一定的毒性物质。因此，为保证六氟化硫的纯度和质量，对出厂的六氟化硫国际电工委i员会（IEC）及许多***均制定了质量标准，并要求生产厂家在供货时提供生物试验***证明书。六氟化硫化学稳定性好，对设备不腐蚀，在冷冻工业中可作为冷冻剂(操作温度在-45～0℃之间)，作制冷剂替代氟利昂，对臭氧层完全没有破i坏作用，符合环保和使用性能的要求，是一种很有发展潜力的制冷剂。
