***室及洁净辅助用房的外窗必须是双层密闭窗。 外窗框与墙体之间的缝隙在室内即正压面采用硅酮胶封闭,传递窗窗框与墙体的缝隙在墙体两侧用硅酮胶封闭,传递窗两侧的门扇要具有联锁装置。门框与门扇的缝隙周边连续敷设弹性密封条,使门关闭后形成密闭的密封线。 配电盘要求防尘,柜安装前要做卫生,安装后还要做卫生,并能使门关闭严密。安装插座、插座箱及线盒内必须打扫干净,紧贴墙面,安装端正。在集成电路的制造过程中,被加工的是单一的硅片,从原材料到产品需要进行几百道物理、化学加工工序,其间如果遭受污染,就会引起产品大量报废,例如64MDR***,在制造过程中,空气中尘埃粒径应被控制在0。吸顶式灯具要紧贴吊顶,擦拭干净,所有进出管头都要采取密封措施。
洁净实验室设计时,预先考虑和计算好机械设备占用面积很重要,在设计阶段,要秉持灵活性原则,为未来发展需要做好准备,这样的实验室设计方案更利于进一步的扩张和修改,以及添加新设备和工具。洁净实验室设计要求墙壁管道系统可容纳较多的管道、电力设施。随着生命科学行业的研究热潮,生物等行业的兴起,***检测、***厂质量保证1“QA”和质量控制“QC”的重要性越发凸显。
洁净实验室设计要求气闸能帮助小化和防止可能影响工作流程的压力变化。因为洁净室内可能存在大量灰尘、污垢颗粒、***化学物质和其他污染物等。
常用消声器的种类有:管式阻性消声器、片式阻性消声器、折板式阻性消声器、声流式阻性消声器、弯管式阻性消声器、迷宫式阻性消声器、蜂窝式阻性消声器、微穿孔板消声器、扩张式消声器、内接管扩张式消声器、共振腔消声器、阻性一扩张式复合型消声器、阻性-共振腔复合型消声器、降1压扩容消声器等。消声器设计的基本要求。抗性消声器的消声原理是:它不直接吸收声能,而是借助管道截面的突出扩张或收缩。只是对于空气分子污染,需要控制的除了芯片线宽外,还有工艺、设备、材料与传送系统等,所以这类污染的控制一直就是业界的难题。
洁净室内部装修前,清洁室内空间必须彻底清洁干净无尘,金属壁板和附件应存放在干净的环境中,应在防潮膜上放置干净的室内空间,防止变形。墙板及附件应在清洁的环境中拆封。不合格或损坏的产品不得安装。金属壁板的壁应安装平,板接头应垂直、紧。吊顶的固定吊挂部分只能与主结构连接,不能与设备和管道支架混合使用。施工前做平面设计,将空调透风口、回风口、灯具合理规划好,使之既满足功能需要又美观大方。墙面和顶面应平整光滑,无灰尘,并应无灰尘,无腐蚀和撞击,易于清洁。