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正确的选择真空泵需要注意的事项
1、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
2、正确地组合真空泵。互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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真空泵油的选择要求
真空泵油的耐热安定性
表示油品的耐高温才能，也就是光滑油对热合成的抵御才能，即热合成温度。一些苛刻的真空运用环境都会对真空油品提出热安定性的请求。
自然矿物油均有其不可防止的缺陷，耐热性能要比合成油差，泵油的成份随热氧化合成极易劣化，极限压力稳定性差，抽速也随运用时间降落。片式真空泵工作原理：旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。普通纯矿物油氧化实验法D943为几百小时左右，而合成油的D943可延长到3000小时以上。可见其运用寿命得到延长。
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水环真空泵的工作原理：由泵内的带固定叶片的偏心转子，将水抛向定子壁，水形成与定子同心的液环，液环与转子叶片一起构成可变容积的一种旋转变容积真空泵。正确的选择真空泵需要注意的事项了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。旋片又分单级和双级，原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，终通过油封将吸入的气体排出泵外。
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为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。
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