相对湿度在35%－40%之间能够作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都运用额外的操控装置以约束静电荷的堆集。许多化学反响的速度，包含腐蚀的进程，将跟着相对湿度的zeng高而加速。一切暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的外表都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些外表是由能够与水反响的薄金属涂层组成时，高湿度能够使反响加速。幸运的是，一些金属，例如铝，能够与水构成一层维护形的氧化物，并阻止进一步的氧化反响；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有维护才能的，因而，在高湿度的环境中，铜制外表更容易遭到腐蚀。
所谓洁净度是指洁净目标——空气的清洗程度。洁净度通常用必定体积或必定分量空气中所含污染物质的巨细、数量或分量来表明。例如，每立方米空气中，含有大于或等于0.5um的悬浮微粒数有X个，即洁净度为》0.5um颗粒为X个/立方。又如：每立方米空气中尘粒的质量为Ymg，其洁净度为mg/立方表明。因为空气净化的意图与目标不一样，净化的内容、办法和衡量规范也各不相同。从空气净化的目标来看，有的是要处理大气污染的疑问，有的是以无尘车间为目标。大气污染的净化主要是各种气体废弃物的处理疑问，是以高浓度污染空气为目标。而各种无尘车间面对的是室内送风的净化疑问，是以超低污染浓度空气为目标的。所谓超低污染浓度的空气，也即是平时以为对比洁净的空气。但是对于电子、宇航、高精密机械制造、、某些yi疗部分及制药等一些对出产环境请求严厉的技术进程或房间，这种相对对比洁净的空气，仍然不符合请求，还需求进一步净化。
净化工程要操控温湿度详细有啥办法？ 但是关于大多数洁净空间，为了避免外界污染***，需求坚持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的保持通常应契合以下准则：1.洁净度等级高的空间的压力要高于相邻的洁净度等级低的空间的压力。2.相通洁净室之间的门要开向洁净度等级高的房间。3.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。压力差的保持依托新风量，这个新风量要能抵偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理含义即是漏泄（或浸透）风量经过洁净室的各种缝隙时的阻力。
