2.2.7热阴频溅射（三极型溅射）hotcathodehighfrequencysputtering：借助于热阴极和阳极获得非自持气体放电，气体放电产生的离子，在靶表面负电位的作用下加速而轰击靶的溅射。
2.2.8离子束溅射ionbeamsputtering：利用特殊的离子源获得的离子束使靶的溅射。
2.2.9辉光放电清洗glowdischargecleaning：利用辉光放电原理，使基片以及膜层表面经受气体放电轰击的清洗过程。
2.3物***相沉积；PVDphysicalvapordeition：在真空状态下，镀膜材料经蒸发或溅射等物理方法气化，沉积到基片上的一种制取膜层的方法。
三：无环境污染：目前***大力倡导生产环保，因为一切镀层资料都是在真空环境下经过等离子体堆积在工件表面，没有溶液污染，所以对环境的损害适当小。
可是因为取得真空和等离子体的仪器设备精细贵重，并且堆积技术还把握在少量技术人员手中，没有很多被推行，其出资和日常出产维护费用贵重.可是跟着社会的不断进步，真空电镀加工技术的优势会越来越明显，在某些职业替代传统的湿法电镀是大势所趋。
有涂层公司针对此问题研发了真空PVD镀膜涂层前处理的新技术，结合其它表面技术和真空PVD镀膜涂层复合作用，在改善液体金属粘模和热龟裂方面取得了一定的成绩。例如HCVAC研发了一款设备可以在同时完成压铸模具的软氮化 真空PVD镀膜涂层，有效的解决了传统涂层和氮化基体之间结合力差的问题，进一步提高了压铸模具的使用寿命。还有大多数公司则采用厚涂层的概念通过沉积足够厚度的涂层来提高模具的使用寿命。我在这里解析下压铸模具涂层的处理工艺。
