氮化硅陶瓷材料具有热稳定性高
具备优良的耐碱蚀性、抗熔融冰晶石润滑性、耐磨性能、高传热性、耐热震性和低的导电率氮化硅结构陶瓷具备热稳定性高。因为氮化硅是键强高的共价化合物，并在气体里能产生金属氧化物保护膜，因此还具备优良的有机化学可靠性，1200℃下列不被氧化，1200~1600℃转化成保护膜可避免进一步空气氧化，而且不被铝、铅、锡、银、紫铜、镍等很多种多样熔融金属材料或铝合金所侵润或浸蚀，但能被镁、镍铬、不锈钢板等熔液所浸蚀。氮化硅砖就是指以氧化镁(MgO)和三氧化二铬(Cr2O3)为主要成分，方镁石和尖晶石为关键矿物质成分的耐火保温材料产品。由于氮化硅是键强高的共价化合物，并在空气中能形成氧化物保护膜，所以还具有良好的化学稳定性。这种砖耐火性高，高溫抗压强度大，抗偏碱渣侵蚀性强，热稳定性，对酸性渣也是有一定的适应能力。氮化硅（Si3N4）存有有3种结晶体构造，分别是α、β和γ三相。α和β两相是Si3N4常出現的形式，且能够 在过热蒸汽下制取。γ相仅有在髙压及高溫下，才可以生成获得，它的强度可做到35GPa。
如果要在半导体基材上沉积氮化硅，有两种方法可供使用：
利用低压化学气相沉积技术在相对较高的温度下利用垂直或水平管式炉进行。
等离子体增强化学气相沉积技术在温度相对较低的真空条件下进行。
氮化硅的晶胞参数与单质硅不同。因此根据沉积方法的不同，生成的氮化硅薄膜会有产生张力或应力。特别是当使用等离子体增强化学气相沉积技术时，能通过调节沉积参数来减少张力。
先利用溶胶凝胶法制备出二氧化硅，然后同时利用碳热还原法和氮化对其中包含特细碳粒子的硅胶进行处理后得到氮化硅纳米线。硅胶中的特细碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解产生的。
氮化硅涂料能有效解决钢坯热处理过程中氧化烧损问题。纳米硅酸盐涂料防氧化效果明显，能使原来普通热轧板所产生的3％-5％的氧化皮降到0.1％-0.8％，使不锈钢热轧板所产生的1％-3％的氧化皮降到0.2％以下。
氮化硅炮泥。含有氮化硅的炮泥，将起到有效的烧结的作用、耐腐蚀性的作用及抗分裂性的作用，应用于炉体或电炉中能够将高炉炉口更加稳定的封好，并且非常容易破割。
氮化硅在HRB400高强度热轧钢筋有很好的应用。Si3N4作为增氮剂，配合FeV用于生产V微合金化Ⅲ级钢筋，钢筋性能优良稳定，是生产HRB400 Ⅲ级钢筋的一种新合金化工艺。
氮化硅在单位质量氮含量中仅次于氮化硼，价格较低，从而在增氮方面有非常高的性价比。
