点可蒸发任何材料薄膜纯度高直接作用于材料表面，热
缺点电子枪结构复杂，造价高化合物沉积时易分解，化学比失调
3激光蒸发镀膜
采用高能激光束对材料进行蒸发，用以形成薄膜的方法，一般称为激光蒸镀。
优点薄膜纯度高蒸发速率高特别适合蒸发成分复杂的合金或化合物，膜层的化学计量比与靶材保持一致
缺点
易产生微小颗粒飞溅，影响薄膜质量
电弧蒸发镀膜
在高真空下通过两导电材料制成的电极之间产生电弧放电，利用电弧高温使电极材料蒸发。电弧源的形式有交流电弧放电、直流电弧放电和电子轰击电弧放电等形式。
优点薄膜纯度高造价低适用于具有一定导电性的难熔金属、石墨等
会飞溅出微米级的靶材料颗粒，影响薄膜质量
利用高频电磁场感应加热，使材料汽化蒸发在基片表面凝结成膜的技术。
产生原因：产品周转运输或在炉内生产时素材受到污染，产品表面有尘点、毛丝等，PVD出炉后灰尘脱落露出底材颜色。
解决方案：缩短产品在炉外停滞时间及炉内洁净度管控，减少***掉落在产品表面。
产生原因：主要原因是产品表面脏污，膜层无法在产品上沉积或结合力差，在自然或人为的因素下产品表面漏出底材。
解决方案：将产品清洗干净，避免污染产品，确保表面洁净度。
