现代真空热处理炉，是指可施行元件的真空加热，然后在油中淬火或在常压和加压气体中淬火的冷壁式炉子。研究开发这种类型的设备是一项综合性强、跨学科、牵涉到很多科技领域的工作。
工模具材料真空热处理的应用前景很大。大多数工模具钢目前都采取在真空中加热，然后在气体中冷却淬火的方式。为了使工件表面和内部都获得满意的力学性能，必须采用真空高压气淬技术。目前，渗碳热处理加工厂家，国际上真空气淬的气压已从0.2MPa、0.6MPa提高到1-2MPa甚至3MPa，所以，渗碳热处理加工厂，高压气淬真空炉的冷却气体压力的逐步提高是一个重要的发展趋势。
使用热作用来消除应力与蠕变期间的应力松弛密切相关。关于压力去除过程有两种观点。
一种观点是材料的屈服强度随着加热温度的升高而降低。因此，在加热时，此温度下的残余应力超过此时的屈服应力，发生塑性变形，残余应力减轻，但缓和应力永远不会低于屈服应力，渗碳热处理加工厂商，因此应力消除仅为极限。
另一种观点是它是由一般的压力放松引起的。理论上，只要给出足够的时间，就可以完全去除应力，并且不受应力大小的限制。当淬火钢回火时，由于结构结构的变化，淬火钢被软化和增韧，并且残余应力也被去除或重新分布。
钢在加热时，表层的碳与介质（或气氛）中的氧、氢、二氧化碳及水蒸气等发生反应，降低了表层碳浓度称为脱碳，渗碳热处理，脱碳钢淬火后表面硬度、疲劳强度及耐磨性降低，而且表面形成残余拉应力易形成表面网状裂纹。
粗大***的遗传：有粗大马氏体、贝氏体、魏氏体***的钢件重新奥氏化时，以慢速加热到常规的淬火温度，甚至再低一些，其奥氏体晶粒仍然是粗大的，这种现象称为***遗传性。要消除粗大***的遗传性，可采用中间退火或多次高温回火处理。
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