
高纯气体(High Purity Gases)气体工业名词,通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氢,氮,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气,纯度为99.199%即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99199%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽,合肥工业气体,在半导体工业,高纯氮,氢,氦可作为运载气,保护气和配制混合气的底气。高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体,和无机高纯气体。

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体,通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内,再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB, Valve Manifold Box),而后再进程入制机台的使用点(POU, Point of Use),更多气体知识请关注气体圈子微信:gasgroup于进入机台腔体之前,会有***的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机,***气工业气体,以质流控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制,通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴,而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。

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