星弧涂层可根据不同的用途提供独特的阳极层离子束源。离子束源有圆形和矩形两种形式。星弧的直流电源确保这些离子束在真空镀膜时有***好的整体表现。 |
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技术优势 |
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平行离子束 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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易于安装的法兰形式 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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增强的离子束中和能力 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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能量可到2000 eV | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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高效的直流电源 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
应用领域 |
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离子束清洗和刻蚀 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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离子束溅射 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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离子束辅助沉积 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
技术参数 |
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