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星弧涂层可根据不同的用途提供独特的阳极层离子束源。离子束源有圆形和矩形两种形式。星弧的直流电源确保这些离子束在真空镀膜时有***好的整体表现。 |
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| 技术优势 |
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| 平行离子束 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 易于安装的法兰形式 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 增强的离子束中和能力 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 能量可到2000 eV | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ***的直流电源 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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应用领域 |
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| 离子束清洗和刻蚀 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 离子束溅射 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 离子束辅助沉积 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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技术参数 |
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