质量流量控制器
SEC-E40 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
适用于从微小流量到大流量控制的低成本型号
概要
· 适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
· 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。
· 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3/E50MK3
技术规格
|
型号 |
SEC- (质量流量控制器) |
E40/E40MK3 |
E50/E50MK3 |
|
SEF- (质量流量计) |
E40 |
E50 |
|
|
适用气体种类*1 |
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) |
||
|
气体接触部材质 |
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 |
||
|
阀门型号 |
非通电时 关闭 |
||
|
标准流量量程 (N2相应F.S.) |
|
20/30 SLM |
|
|
流量控制范围 |
2〜100% F.S. |
||
|
流量测量范围 |
0〜100% F.S. |
||
|
响应速度 |
1秒以内(T98) |
||
|
流量精度 |
±1% F.S. |
||
|
直线性 |
±0.5% F.S. |
||
|
反复性 |
±0.2% F.S. |
||
|
工作差压值值 |
10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d) |
||
|
使用压力 |
300kPa(G)以下 |
||
|
耐 压 |
1MPa(G)以下 |
||
|
外部泄漏率 |
1×10-8Pa・m3/s(He)以下 |
||
|
使用环境温度 |
5〜50℃(精度的确保：15〜35℃) |
||
|
流量设定信号 |
0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜100% F.S. |
||
|
流量输出信号 |
0〜5VDC(最小负荷电阻2kΩ) |
||
|
驱动电源 |
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA |
＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
|
|
标准接头*2 |
1/4SWL 类型 |
||