多量程/多气体
数字式质量流量控制器
SEC-Z500 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
上海进申工贸有限公司
通用型高端型号
概要
· 适用多气体/多量程
· 高精度：保证±1.0% S.P.(设置点)
· 高速响应：满量程1秒以内(T98) 搭载有可变 PID
· 适用于微小流量到大流量(200SLM ： SEC-Z540系列)
· 小型尺寸：适于面间距离 106mm、1.125inch(英寸)气体面板、到50SLM同一面间距离的106mm
· 超清洁类型：接气部采用全不锈钢构造，其内面进行研磨标准处理
· 和模拟MFC之间的完全互换：与数字/模拟通信相对应(SEC-Z512MG/Z522MG)
· 适用于DeviceNet™接口(SEC-Z514/Z524MG)
技术规格
|
型 式 |
SEC(质量流量控制器) |
Z512MG (DeviceNet™ 模式： Z514MG) |
Z522MG (DeviceNet™ 模式： Z524MG) |
|
SEF- (质量流量计) |
Z512MG (DeviceNet™ 模式： Z514MG) |
Z522MG (DeviceNet™ model: Z524MG) |
|
|
气体接触部材质 |
SUS316L、内面研磨处理标准 |
||
|
阀门型号 |
NO:非通电时 开； NC:非通电时； 关闭 |
||
|
标准流量量程 (N2相应F.S.) |
#01: 30/#1.5: 55/#02: 100/#2.5: 175/#03: 300/#3.5: 550 SCCM #04: 1/#4.5: 1.75/#05: 3/#5.5: 5.5/#06: 10 SLM |
#07: 30/#08: 50 SLM (N2,H2,Ar,O2) ＊2 |
|
|
流量控制范围 |
2〜100% F.S. |
||
|
响应速度 |
1秒以内 (T98) |
||
|
流量精度＊1 |
±1.0%S.P.以内(25〜100%F.S.) ±0.25%F.S.以内(2〜25%F.S.) |
||
|
直线性 |
±0.5% F.S. |
||
|
重复稳定性 |
±0.2% F.S. |
||
|
工作差压值 |
50〜300kPa (d) #5.5 and #06 100〜300kPa(d) |
#07: 200〜300kPa(d) |
|
|
最大工作压力 |
450 kPa (G) |
||
|
耐压 |
1MPa(G) |
||
|
外部泄漏率 |
5×10-12Pa・m3/s (He) |
||
|
使用环境温度 |
5〜50℃ |
||
|
流量设定信号 |
数字 ： RS-485 (F-Net 协议) DeviceNet™ ： (SEC-Z514MG/Z524MG) |
||
|
流量输出信号 |
数字 ： RS-485 (F-Net 协议) DeviceNet™ ： (SEC-Z514MG/Z524MG) |
||