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SEC- (质量流量控制器) |
E40/E40MK3 |
E50/E50MK3 |
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SEF- (质量流量计) |
E40 |
E50 |
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适用气体种类*1 |
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) |
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气体接触部材质 |
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 |
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阀门型号 |
非通电时 关闭 |
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标准流量量程 (N2相应F.S.) |
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20/30 SLM |
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流量控制范围 |
2〜100% F.S. |
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流量测量范围 |
0〜100% F.S. |
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