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干式真空泵种类很多，按工作原理可分为两类：容积式干式真空泵和动量传递式干式真空泵。不管哪类的干式真空泵，对其要求又有哪些呢？

一般对干式真空泵的要求为：清洁；安全；耐磨；造价低；维修方便；性能稳定；振动小，噪音低。只有这样，干式真空泵才有使用和推广的价值。在清洁的要求方面，对于哪些用油润滑的干式真空泵都有一个潜在的油蒸气的污染源存在，要采取一定措施加以解决。

在半导体产业主要应用对象的干式真空泵，会在许多抽气工艺过程中出现一些颗粒物，一般说来，在干式真空泵中出现颗粒物有三种情况：

1、当泵内压力***时引起气固变相过程的发生；

2、在泵内产生反应气体的生成物；

3、抽气过程混入的颗粒物。

真空环境下，物质的反应温度得以降低，去除反应物成分变的更加容易，能很好的降低成本和提高产品质量。蒸馏分离可以将多种具有着不同温度、压力、成分和状态的层面或部分分离开。随真空度和温度的改变，各部分具有不同的浓度和温度，可以有效的从混合物质中分离出来。干式螺杆真空泵可以从液体中把气体成分除去，提高物理性能，莱宝真空泵，改善产品的质量，还可以有效避免交叉污染的发生。

爱德华真空泵的型号很多，EDS系列干式螺杆真空泵，EOSi系列油封式螺杆真空泵，EDC系列单级爪式真空泵，EM系列，RV系列，EV系列，中堂莱宝真空泵价格，EH 系列，QMB 系列，MB 系列，大岭山莱宝真空泵价格，但是该怎么选择合适的呢？

一：了解爱德华真空泵被抽气体的成分，气体中是否含有可凝蒸汽，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。所以在选择爱德华真空泵时，需要了解气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

二：必须要了解爱德华真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

三：真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，洪梅莱宝真空泵价格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。