电子特种气体,淄博特种气体,安徽谱纯(查看)

特种气体(Specialtygases) 气体工业名词，是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多，通常可区分为电子气体，淄博特种气体，标准气，环保气，***气，焊接气，电子特种气体，杀菌气等，广泛用于电子，电力，石油化工，***，钢铁，特种气体公司，有色金属冶炼，热力工程，生化，环境监测，***研究及诊断，食品保鲜等领域。

特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料，特种气体厂家，根据不同气体的生产工艺和用途，可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。其中，特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体，包括电子气体、标准气体、高纯度气等种类，可应用于电工电子、半导体、液晶面板、光纤、***研究及诊断等多个领域。

应用于LED产业的特种气体

半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：

1、硅族气体：含硅基的硅3烷类，如硅3烷、二氯二氢硅、乙硅1烷等

2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、3氟化3硼、磷烷、shen烷等。

3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如氯1气、三氟化氮、xiu化氢、四氟化碳、六氟乙1烷等。

4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。

5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、***1基jia。