

电子气体(Elect ron ic gases) :半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯4 _6 m p- _4气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级、L S I (大规模集成电路) 级、VL S I (超大规模集成电路) 级和UL S I (特大规模集成电路)级。


不相容的气体在制备中的事故回顾与分析,以下是所知道的近年来发生的事故: 1996-中国台湾,工业标准气体,N2O/H2, 人员受伤,1997-加拿大,CO/Ai;1997-英国,CH4/Air ,芜湖标准气体, 人员受伤;1997-南美,CH4/Air, 压力表炸毁;1997-美国,4% H2/Air,隐患事故;2003-德国,N2O/CO,人员受伤;2004-法国,卤代烃/Air ,隐患事故;2007-中国兰州,CH4/Air, 人员受伤。以上事故中,多数是配制空气中的可燃气体,这类气体大多用在化工厂、煤矿中环境气体的检测中,事故的原因或者是错误的操作;或者是不相容的气体同时接入一个系统中,由于阀门漏气产生倒灌;或者是浓度计算错误;或者是错误的充装顺序造成的。对气体混合气的事故分析,人们往往重视气体的毒性而忽略了其可燃性。空气中可燃性气体的制备经常发生,因此制定严格的操作程序是非常重要的。
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