吸附法可相当彻底地净化有机废气．适于净化低浓度有机废气，也可富集并回收废气中有价值的有机物。VOC有机废气处理设备1 吸附剂可作为有机废气的吸附剂有活性炭、硅胶、分子筛等，其中应用***广泛的为活性炭。VOC有机废气处理设备2 活性炭吸附法处理有机废气流程用VOC有机废气处理设备时，其流程一般包括以下几部分：① 预处理。为保证活性炭床层具有一定的孔隙率，减少床层阻力，应预先除去废气中的固体颗粒物和液滴。② 吸附。当采用固定床吸附器时，通常采用2个以上的吸附器，其中一个处于吸附状态。废气通过该吸附器，使废气中有机物被活性炭床层吸附。
可燃物在VOC有机废气处理设备作用下燃烧。与直接燃烧相比，VOC有机废气处理设备温度较低，燃烧比较完全。催化燃烧所用的催化剂为具有大比表面的***和金属氧化物多组分物质。例如家用负载Pd或稀土化合物的催化燃气灶，可减少尾气中CO含量，提高热效率。负载0.2%pt的氧化铝催化剂，在500℃下，可将大多数有机化合物燃烧。VOC有机废气处理设备为无焰燃烧，因此适用于安全性要求高的场合，如以H2和O2为原料的燃料电池、用酒精为原料的怀炉(催化剂为浸Pt石棉)等。如消除化工厂NOx的烟雾，可加燃料到烟雾中，通过负载型铂和钯催化剂，催化燃烧使NOx转化为N2气。
催化燃烧法的流程具有以下特点：① 进入VOC有机废气处理设备的气体首先要经过预处理，除去粉尘、液滴及***组分，避免催化剂床层的堵塞和催化剂的***。② 进入VOC有机废气处理设备床层的气体温度必须要达到所用催化剂的起燃温度，VOC有机废气处理设备催化反应才能进行。因此对于低于起燃温度的进气，必须进行预热使其达到起燃温度。特别是开车时，对冷进气须进行预热，因而催化燃烧法适用于处理连续排出的有机废气。③ 催化燃烧有机废气会产生一定量的反应热，在产生热量大时，应注意回收反应热。