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净化室工程温湿度控制要求

净化室工程的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，净化车间加湿，应考虑到人的舒适度感。但作为总的原则看，高品质净化车间，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。

　例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，净化车间价格，所以必须有±0.1度的恒温。同时要求湿度值一般较低。因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度。

　由于高l级别的净化车间(如百级间)需要百级甚至十级层流罩用以解决工艺需求，洁净室吊顶上部将设立一个个巨大的送风静压箱，静压箱内设立通风机，这些静压箱连同送风管、回风管占据了很大的空间，使得维修空间变的狭小，有时甚至影响消防通道的使用。

　　但是当使用FFU的时侯，净化车间的吊顶被分成了若干模块，每个模块就是一个FFU，这样我们可以通过调节每个模块(即FFU)来满足吊顶上部送风静压箱的压力平衡的要求，从而大大降低了对该静压箱高度的要求。同时可以节省巨大的送、回风管，故可节省安装空间。尤其是在改造工程受到层高限制时，珠海净化车间，FFU有效地解决了这一问题。

对于净化空调系统的加湿问题而言，常用的加湿方法有很多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极（电热）加湿是向空调送风中喷蒸汽，其加湿方法属等温加湿过程。 从确保洁净室内相对湿度的精度而言，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时较好不采用。而采用喷干蒸汽和电热（电极）式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此，选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。