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江苏一六仪器 X荧光镀层测厚仪金属成分含量的测定

在包含某种元素1的样品中，照射一次X射线，就会产生元素1的荧光X射线，不过这个时候的荧光X射线的强度会随着样品中元素1的含量的变化而改变。元素1的含量多，荧光X射线的强度就会变强。注意到这一点，如果预先知道已知浓度样品的荧光X射线强度，就可以推算出样品中元素1的含量。采用定量分析的时候，可以在样品中加入高纯度的二氧化硅，作为参比样，并且掺量是已知的。这样可以间接知道其他组分的含量。

镀层厚度分析仪的测量方法主要有：楔切法，光截法，电解法，厚度差测量法，称重法，X射线荧光法，β射线反向散射法，电容法、磁性测量法及涡流测量法等等。这些方法中前五种是有损检测，测量手段繁琐，速度慢，多适用于抽样检验。

X射线和β射线法是无接触无损测量，测量范围较小，测厚仪，X射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆

层测厚时采用。

X-RAY测厚仪特点

1，电镀膜厚仪，价格高，机种不同，价格在10万~100万左右，可测试P（磷）~U（铀），并且支持Rohs及元素分析功能等。

2，五金电镀测厚仪，无损检测，Windows操作系统，使用简便。操作快速，能适应多类镀层，X射线测厚仪，大量检测，但体积较大，计算机除外约100000cm2，50000g左右。

3，测量厚度范围较广，

0.002um~100um左右，能测试5层以上膜厚，并且可以测量合金镀层，也可分析镀层元素和含量比。

4，测量精度高，1%左右，分辨率高，0.001um左右。

5，测头的面积较小，对需测的样品要求不高：0.1mmψ以下也可测量，基材厚度无要求。

6，可编程XYZ测量台及大移动范围。