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样品变温台 |
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特点 |
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低噪声直流驱动 |
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隔离套装实现PA级电信测试精度 |
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隔绝水循环保护chuck底座 |
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可以在绝大多数探针台上加装 |
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易于装卸，无需转接部件 |
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规格 |
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真空吸附载物台的尺寸 |
4, 6, 8,英寸直径，1英寸厚度 |
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Chuck 平整度 |
+ -10 微米 |
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控温范围 |
常温到200摄氏度 |
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控温精度 |
0.1℃ |
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温度稳定度 |
100 ℃ + - 0.5 ℃ |
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200 ℃+ - 1 ℃ |
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从25 ℃开始升温时间 100 ℃ 150 ℃ 200 ℃ |
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(4 英寸chuck，单位为分钟：秒 ) 2:00 3:30 5:00 |
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电源 |
直流 |
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材质 |
不锈钢 |
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需求 |
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供电 |
110 VAC, 60Hz ;220 VAC, 60Hz |
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电力消耗 |
4英寸chuck 700W |
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6英寸chuck 1000W |
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8英寸chuck 1500 W |
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真空 |
-250 mmHg, 7 liter/min |
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循环水 |
20 Liter/Min |
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尺寸 |
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控制器 350mm长 x 300mm宽 x 150mm高 |
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重20 Kg |
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附件 |
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高温配件，可以升温至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃ |
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低温配件，可以冷却至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温至-196 ℃ |
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用于其他品牌探针台的安装转接口 |
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方形chuck |
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更高温度控制精度 |
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更高温度均匀性 |
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加速升温配件 |
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水冷箱 |
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更低电流测试用的屏蔽装置 |
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液晶套装 |
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真空腔体 |
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测试屏蔽腔体 |
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测试平台 |
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带脚轮的仪器柜 |
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真空吸附的chuck |
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镀金的chuck |
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镀镍的chuck |
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