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4、检查cpu风扇和主机电源风扇
工控机的散热主要通过cpu风扇和电源风扇进行。当cpu风扇损坏时，汇川伺服电机维修，cpu的温度升高，极易造成工控机“死机”。
对策：经常检查工控机的风扇，及时更换损坏的风扇。中控室的工控机出厂时cpu只加装了散热片，没有风扇。后加装专用散热风扇，cpu的温度降低了近5℃
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真空机器人
一种在真空环境下工作的机器人，主要应用于半导体工业中，台达伺服电机维修，实现晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强，其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件。而且国外对中国买家严加审查，归属于禁运产品目录，真空机械手已成为严重制约我国半导体设备整机装备制造的“卡脖子”问题。直驱型真空机器人技术属于原始创新技术
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