聚乙烯醇***酸酯
CAS:24968-99-8
分子式:(C11H10O2)x
分子式:(C11H10O2)x
外观:淡***液体
包装:25KG/桶
乙烯基-3-***-2-***酯的均聚物, 是一种负型光致抗蚀剂,在紫外光照射下聚合,不见光的部分不聚合。***显影后图形分辨率好,质量稳定,对二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力,能耐***、磷酸腐蚀。广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺,亦适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工
乙烯基-3-***-2-***酯的均聚物, 是一种负型光致抗蚀剂,在紫外光照射下聚合,不见光的部分不聚合。***显影后图形分辨率好,质量稳定,对二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力,能耐***、磷酸腐蚀。广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺,亦适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工