1、特种气体 specialily gas
用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2、特种气体系统 speciality gas system
特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
3、特种气体间 speciality gas room
是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备,并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
气瓶柜 gas cabinet (GC)
特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备,特种气体销售,一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。
气瓶架 gas rack (GR)
特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备,一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。
高纯CO2生产技术amp;高纯特种气体生产技术
一、高纯CO2生产技术
(一)技术简介
本技术以合成氨企业、酒精厂、石灰窑等企业排放的高浓度 CO2 废气为原料生产工业级 GB/T6052-2011、食品级 GB10621-2006和高纯级 GB/T23938-2009 高纯液体二氧化碳。产品满足油田驱油、焊接、食品(啤酒和可乐)等多种行业的需求。变废为宝的同时享受***科技部、工信1部等多家部门的资金补贴。
(二)技术优势
1、能耗***1低
每吨食品级能耗≤160kwh,特种气体生产厂家,较传统工艺降低 20%以上,特种气体公司,装置能够实现工业级产品与食品级产品的互相切换,以应对多变的市场条件。
2、装置高度集成
所有低温精馏设备在冷箱内集成,福州特种气体,大幅节约土地和各类维护成本, 运营过程中冷损降至***1低。
3、独有的共沸精馏技术
CO2原料气中包含的大量烃、硫类杂质传统精馏无法去除,本公司经过多年潜心研究和多项实验,研发出的多元精馏添加剂打破了杂质共沸而无法除去的技术难题,使用精馏代替粗脱硫、水解、精脱硫、脱烃、二次脱水等多种工段,较传统工艺一次性***降低 50%。
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