光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机 FFU送风口这是***简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
优点：A.不需要占用机房面积，布置很灵活的;B.可以满足空气的洁净度;C.造价***i低。如此类无尘车间初***约需要40万;D.送风均匀度好。
缺点：A.温湿度控制较差;B.可以满足空气的洁净度;C.FFU的维修频率高。
净化技术的设备发展
在洁净室建设规模和技术水平上，我国与******差距更大。日本清水建设公司一家，1982年到1987年期间承建的洁净室面积达71.8万平方米，无锡净化工程，而我国目前一年承建的洁净室总面积还不到10万平方米，但八五期间有较大发展，1993年承建洁净室总面积已接近15万平方米。美国的洁净室建设规模更大，1998年统计已达188.5万平方米。在洁净工程技术水平上，80年代末期，国外已大量建成0.1微米级的超净室，1987年日本三洋新泻工场建成十级洁净厂房3000平方米，张家港净化工程，NIT原木则建成了四个1000平方米控制0.1微米尘埃的千级厂房，上海净化工程，换气次数高达300次/分。
对于净化空调系统的加湿问题而言，常用的加湿方法有很多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极（电热）加湿是向空调送风中喷蒸汽，净化工程，其加湿方法属等温加湿过程。从确保洁净室内相对湿度的精度而言，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时***i好不采用。而采用喷干蒸汽和电热（电极）式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此，选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。
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