合肥激光干涉仪,合肥迈思瑞公司,激光干涉仪经销商

双频激光干涉仪在形位误差测量上的应用

（1）双频激光干涉测角

双频激光干涉仪光路系统中的偏振分光镜、参考镜和测量镜，分别换成双膜块组合角锥反射棱镜和角锥反射棱镜，就可以构成双频激光干涉测角仪。其测量原理为：当具有偏振方向垂直，且频率分别为f1和f2的偏振光入射到偏振分光镜后，其中垂直偏振光f2被反射，经棱镜再反射到达角锥反射棱镜，由角锥反射棱镜反射后回到偏振分光棱镜，而水平偏振光f1透过偏振分光镜后到达角锥反射棱镜，由角锥反射棱镜反射后回到分光镜，两光束在偏振分光棱镜重新会合形成拍频，激光干涉仪经销商，经检偏器后由光电接1收器接收。当双角锥棱镜组在移动过程中没有发生摆动时，两束光的***频差不变，拍频不变。如果，移动过程中双角锥棱镜组发生摆动，则相当于两个角锥棱镜的移动不一致，出现距离差。根据线度角度的几何关系，可以测出摆角的大小。由上述原理构成的SJD型双频激光干涉仪用于测量角度时，其分度值为0.1″，当测量范围为±100″时，测量精度为0.5″

(2) 双频激光干涉仪测直线度误差

双频激光干涉仪与光学附件双面反射镜、沃拉斯顿棱镜等配合，合肥激光干涉仪，可以构成直线度测量系统，由于此法已经在工程测量中广泛应用，且原理与测角系统基本类似。

激光干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的，激光干涉仪经销商，***初用于检定基准线纹尺，后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态（温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59％、CO2 含量0.03％）下的测量精1确度很高，可达1×10。

激光干涉仪功能特点：

便携性：

使用方便：准直激光后，轻易实现设备线性***、重复***精度、反向间隙、角度、直线度的测量。

携带方便：基本重量为15kg，简单便携。

可定制：

测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel文档。