安徽谱纯特种气体(图)-特种气体价格-杭州特种气体

应用于LED产业的特种气体

半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，特种气体批发，主要包括：

1、硅族气体：含硅基的硅3烷类，如硅3烷、二氯二氢硅、乙硅1烷等

2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体，杭州特种气体，如三氯化硼、3氟化3硼、磷烷、shen烷等。

3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如氯1气、三氟化氮、xiu化氢、四氟化碳、六氟乙1烷等。

4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。

5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、***1基jia。

我国特种气体生产技术与国外的差距

论述了工业用标准气，环保气，大规模集成电路、光导纤维、非晶硅太阳电池制造用电子气，MOCVD的源材料—金属有机化合物，以及电子气配套器件国***研、生产和制造的技术水平及其与国外的差距，指出配套器件技术水平与国外的差距比特种气体技术水平与国外的差距还要大，特种气体销售，仅约相当于国外70年代中末期水平，特种气体价格，而标准气约相当于国外80年代初中期水平，电子气则相当于国外80年代初期水平。特气生产技术关键是气体纯化技术及高纯或瞄蚀性气体包装技术等。为加速电子气国产化进程，提出了6项政策性措施。

1、特种气体 specialily gas

用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。

2、特种气体系统 speciality gas system

特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。

3、特种气体间 speciality gas room

是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。