日本山武(YAMATAKE)气体质量流量计
1.CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500、CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000等CMS系列气体质量流量计是高可靠型气体质量流量计，CMS系列气体质量流量计使用了由山武公司新近开发的微流量传感器，这种传感器是感热式流量传感单元。超小型结构，高精度的传感器，高密度集成电路设计技术的结合使这种仪表具有精度高、测量范围大且成本低的优点。
2.CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050等CMQ系列气体质量流量计是高机能型数字式气体质量流量控制器，它使用了山武公司研制的感热式微流量传感器uF和比例电磁阀的***技术。因此CMQ是一种高性能、低成本的产品。CMQ具有相应快、控制范围宽的特点，能满足多种工业控制要求。