一、简单介绍
运用红外光谱技术检测SF6气体分解产物。
二、产品特点
*鉴定和准确定量的主要分解产物(见下表,依据IEC 604800)。
*只对需要监测的空间进行测量从而减低了维护费用 。
*气体处理和操作的费用减低。
*可靠性的提高。
*安全性的增强。
三、产品优势
*强大和完整的mid-IR用于常规和高等的实验室分析。
*易用的OPUS光谱软件。
*性能控制:***的分光计室、状态灯、选择测量参数的
自动控制的在线诊断。
*完整的测试和检验功能(OQ,PQ)。
*由于发明了带完整的24bit ADC和***均衡的RockSolid干涉
仪 的DigiTect探测,使得有出色的功能和稳定的信号。
*多样的升级选择:用于采样室的完整的IR、外部的附件、光谱范围延伸到FIR或NIR、气体分析
的高分辨率、运动测量的各种监察速度的附件设置。
*用于离子分光计操作从PC、便携式电脑或笔记本的以太网连接;可以远程控制和诊断。在交付中
包括:强大的OPUS光谱软件,多煤体演示,在线帮助,GMP标准,21CFR部分的11选项。
*用于离子光谱光学和信号处理的一个基于PC上的数据系统,此需求为适当的数据系统。数据库和
软件:1.用于分析基于氟上的硫的分析的12XX05分析的方法和数据库;2.用于分析多量化的
SO2、HF、CF4、SF4、氟化亚硫氙的GAS数据库
有9种分解物在下表所示敏感度范围内以ppmv为单位可进行测量分析:
分解物 ***小测量值(ppmv)
SO2 ------ 10
HF ------- 0.5
SF4 ------- 3
SOF2 ------ 10
SOF4 ------- 5
SO2F2 ------ 3
S2F10 ------ 2
SiF4 ------ 5
CF4 ------ 3
进一步分析可以确定H2O,CO2,and CO的含量