特种气体的包装及贮运
包装标志：有***体。常温下，干氯不腐 蚀钢｛但在水和湿气存在时，由于生成盐酸和次氯酸。所以呈强腐蚀性应保持设备中无 水，特种气体厂，管路、阀门和容器不用时应密封或加帽，从而与大气中的湿气隔离。钢瓶应贮存在室外并远离可燃材料。使 用 钢瓶应竖放在露天或强制通风室内。防止钢瓶过热。钢瓶温度不能超过45℃。温度低于121℃时，上海特种气体，干氯1气体或液1氯不腐蚀铁、铜、 钢、铝、镍、铂、银和钽。含水的氯1气对大部分金属有腐蚀性。所以应广泛采用耐盐酸的镍基合金一Ｃ和荣乃尔。低压下，含水氯1气可采用粗陶瓷、玻璃和瓷设备进行贮存。在较高压力下，可利用普通金属容器内衬耐腐蚀材料。
电子特种气体种类多，应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%，但是由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，因此成为衡量半导体技术的核心产品。在制备特种气体供应环节所涉及的市场依然是国内外公司积极布局的方向。特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。
应用于LED产业的特种气体
半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：
1、硅族气体：含硅基的硅3烷类，如硅3烷、二氯二氢硅、乙硅1烷等
2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体，特种气体生产厂家，如三氯化硼、3氟化3硼、磷烷、shen烷等。
3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如氯1气、三氟化氮、xiu化氢、四氟化碳、六氟乙1烷等。
4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、***1基jia。
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