边缘***装置，用于对基板的边缘进行***；
显影装置，用于对***后的基板进行显影，该边缘***装置位于该显影装置的入口处；
其中，该基板在被输送至该显影装置的过程中，亮面***显影工艺哪家好，被该边缘***装置进行边缘***。
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4:由显影装置30对***后的基板S进行显影。
1:对基板S的主体进行***；
2:由基板输送机构50将基板S输送至显影装置30 ；
3:由边缘***装置20对基板S的边缘进行***；
4:由显影装置30对***后的基板S进行显影。
其中，在步骤I中可利用主体***机10对基板S的主体进行***。
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