激光干涉仪什么牌子好-滁州激光干涉仪-合肥迈思瑞仪器公司

激光干涉仪调光步骤及技巧

垂直度测量

光学组件：光学直角尺一只、垂直转向镜一只、直线度干涉镜一只、直线度反射镜一只、回射反射镜一只。

测量原理：沿着两条标称相互垂直的轴，利用一个共同的基准，分别进行直线度测量，滁州激光干涉仪，从而测量其垂直度。通常，这个共同的基准就是直线度反射镜的光学准线，在两次直线度测量期间，即不能移动（相对于工作台），也不能调整反射镜。这两次直线度测量，至少有一次是利用光学直角尺完成的。

光学器件安装：

垂直轴与水平轴之间的垂直度测量光路校准步骤（光线横向水平射出并返回）：

一号光靶位于垂直转向镜的入光侧，二号光靶位于回射反射镜上，三号光靶位于光学直角尺入光侧中心刻度线处，请注意光靶小光孔的朝向。

1、右进左出，调节三角架，拉直激光，近、远端对正一号光靶。近端上下、左右调节，远端扭摆、俯仰调节。

2、将激光对准二号光靶，近端前后、左右位置调节，远端调节垂直转向镜的旋钮。

3、拆除一、二号光靶，激光干涉仪什么牌子好，调节激光头上下、左右位置，激光干涉仪什么品牌好，将激光对准三号光靶，调好近、远端。

4、安装直线度反射镜，在直线度反射镜的第二、四格分别安装好光靶，光靶上光孔的位置与光学直角尺的射出光线的位置相对应。

5、人工去除斜率误差。

A、由光学直角尺射出经直线度反射线返回的两条光线若不在同一法线上，需旋转主轴上安装在回射反射镜中的干涉镜进行调节。

b、消除斜率过程中，若大范围调节直线度反射镜旋钮都无法将斜率消除，可微调激光头的扭摆和俯仰（调光时，观察在光学直角尺与直线度反射镜上的光点是否中心对称）。

引起激光干涉仪测量误差的部分原因：

环境因素：环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息，基于Edlen公式计算空气折射率，以此对激光波长进行补偿。

同时环境补偿单元中材料温度探头能实时高精度测量被测设备温度，对其进行温度补偿。但是往往因为操作人员将材料温度探头放置在错误的位置，致使采集的数据不能真实反映被测物体温度状态，从而增大测量误差。

正确方式：在线性测量中，需要开启环境补偿单元，并正确设置补偿材料的种类，放置材料温度探头的位置。在高精度的测量中，需要给予环境补偿单元以及被测物充分的恒温时间。

激光干涉仪调光步骤及技巧

直线度测量

光学组件：直线度干涉镜一只、直线度反射镜一只。

测量原理：激光头的输出光束穿过直线度干涉镜后，被分裂成两束夹角较小的光束，这两束光成一个微小的角度。然后，经直线度反射镜反射后沿一条新的光路返回到直线度干涉镜，该两束光束在直线度干涉镜处汇合成一束光束，并返回激光头的回光孔。直线度测量是通过检查干涉镜和反射镜的相对横向位移引起的光程差来实现的，直线度测量可以在水平面或垂直面内进行，它取决于直线度干涉镜和直线度反射镜的***方向。

光学器件安装：

短距离直线度测量，行程近端时固定光学元件与移动光学元件之间的距离至少为0.1m，而长距离直线度测量时该距离***少为1m。

垂直直线度偏差测量光路校准步骤：

1、放置好激光头，安装好直线度光闸。

2、将干涉镜表面旋转90度（小孔在右边），借助直线度干涉镜上的小光孔将激光近、远两端拉直。

3、放置直线度反射镜，检测其顶面是否水平。在直线度反射镜中间刻度线处安装一光靶，光靶小光孔与干涉镜小光孔同侧，只调节直线度反射镜，使激光正对光靶小光孔。

4、将干涉镜旋转90度，去除光靶。细微旋转干涉镜表面使反射回光闸的两束光线聚焦，调节直线度反射镜上旋钮将汇合后的光束对准直线度光闸的回光孔。

5、检查激光头，近、远两端光强是否一致。（可微调俯仰、扭摆、左右，寻找返回光束光强***1大位置。）

6、人工去除斜率误差。