在半导体工业中，高纯氦气用作生长锗和硅晶体的保护气。某些混合气的底气、清洗、屏蔽和加压系统的惰性气体；气相色谱载气；在生产象钛和锫那样的活性金属时用作保护气；电弧焊接的保护气；在原子能反应堆中作为气体的冷却介质；在航天技术上，液氦加注系统的真空管路、贮槽、槽车以及火箭贮箱中的空气必须首先用高纯氮气置换，合格后用高纯氦气置换，分析合格后用高纯氦密封；还可用作火箭的挤压气源及姿态控制发动机用气源。
标准气体应用的领域：1. 常见的标准气体按用途包括：气体报警类标准气体、电力能源类标准气体、石油化工类标准气体、环保监测类标准气体、卫生类标准气体、仪器仪表类标准气体等。2. 标准气还可用于环境监测，***的有机物测量，汽车排放气测试，超临界流体工艺等。标准气视气体组分数区分为二元，三元和多元标准气体；配气准度要求以配气允差和分析允差来表征；比较通用的有SE2MI配气允差标准，但各公司均有企业标准。组分的低浓度为10级，组分数可多达20余种。配制方法可采用重量法，然后用色谱分析校核，也可按标准传递程序进行传递。
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