引起激光干涉仪测量误差的部分原因:
环境因素:环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息,基于Edlen公式计算空气折射率,以此对激光波长进行补偿。
同时环境补偿单元中材料温度探头能实时高精度测量被测设备温度,对其进行温度补偿。但是往往因为操作人员将材料温度探头放置在错误的位置,致使采集的数据不能真实反映被测物体温度状态,从而增大测量误差。
正确方式:在线性测量中,需要开启环境补偿单元,激光干涉仪报价多少钱,并正确设置补偿材料的种类,双频激光干涉仪价格,放置材料温度探头的位置。在高精度的测量中,需要给予环境补偿单元以及被测物充分的恒温时间。


SJ6000激光干涉仪应用
在位移传感器中的应用
利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势,其特点是反应速度快、测量精度高,激光干涉仪,是位移传感器实现高精度校准的重要手段。
与其他镜组配合的应用
SJ6000激光干涉仪与不同光学组件结合,可以实现距离、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量,具有极高的精度和效率。


双频激光干涉仪
双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。
在激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生f1和f2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因***效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(***效应是奥地利人C.J.***提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片 2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整1形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,激光干涉仪厂家,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。
国内双频激光干涉仪生产企业主要有北京镭测科技有限公司,该公司的产品技术和工作人员主要来自于清华大学精密测试技术及仪器******实验室,拥有自主知识产权,技术指标达到或优于国外产品同等水平。


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