雷尼绍Renishaw激光干涉仪
销售工程师赵贵军1-8-5-1-8-5-5-9-1-8-8
激光尺可提供高精度的线性位置反馈。
自1994年推出***款HS10长距离激光尺系统（测量范围长可达60 m）以来，雷尼绍不断为业界提供各种激光反馈解决方案。这些解决方案广泛应用于航空航天、船舶工业和其他***应用场合的大型机床。2012年，HS10被HS20长距离激光尺取代。HS20具有向后兼容性，它拥有重新设计的光学系统和电子元件，因此更加耐用，性能也更加***。
RLE激光尺系列于2001年推出，可提供短距离位置反馈功能（长4 m）。RLE使用拥有的创新“远程”激光源和光纤连接的激光发射头，因此可提高测量精度，节省安装空间，并简化安装和设定过程。该系统具有多种配置，可适合不同的光学结构和应用。
RLE系统已被***众多半导体加工机械制造商使用，同时也应用于其他各种短距离测量。在以前无法实现的测量应用中，RLE的特性和功能体现了干涉测量的优势。
RLE和HS20系统均包含一系列附件，例如环境补偿系统、光学和信号接口等，以满足各种测量应用的要求。
雷尼绍的激光装置具有基于激光干涉原理的高性能测量能力，并且与传统的钢带光栅和玻璃光栅一样易于安装。
RLE系统
RLE系统是独创的***零差激光干涉测量系统，特别为位置反馈应用而设计。每套RLE系统均包含一个RLU激光装置和一个或两个RLD10发射头，具体型号取决于特定应用的要求。
RLU激光装置有单轴或双轴两种配置可选，包括HeNe（氦/***）激光源、用于稳频的电子器件、光纤传导装置和轴位置反馈电子器件。
借助雷尼绍激光尺，我们能够超越客户提出的标准，我们竭力为客户提供***的体验；而我们之所以能够不断获得成功，部分归因于雷尼绍带来的技术进步。
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雷尼绍目前提供两种型号的激光装置，二者在性能上有所不同：
RLU10激光装置
RLU10在任意一个小时内的激光稳频精度为&plu***n;50 ppb，其性能水平适合大部分非真空环境应用。
特性与优点
将RLU10与适合所需应用的雷尼绍发射头 (RLD) 结合使用具有以下特性与优点：
· 简单的系统结构 — 利用雷尼绍独创的光纤传导系统
· 快速调节准直 — RLD发射头允许激光光束直接射向测量轴
· 结构紧凑且设定轻松 — 系统占用空间***，安装时间极短
RLU10概述
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光纤长度 |
3 m或6 m* |
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轴数 |
单轴或双轴* |
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激光源 |
2类氦*** (HeNe) 激光 |
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输出 |
模拟 / 数字正交 |
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速度 |
高达2 m/s** |
* 出厂配置
** 取决于型号 / 分辨率
RLU10性能
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激光稳频精度（1分钟） |
‹&plu***n;10 ppb |
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激光稳频精度（1小时） |
‹&plu***n;50 ppb |
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激光稳频精度（8小时） |
‹&plu***n;50 ppb |
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真空波长稳定性（超过3年） |
&plu***n;0.1 ppm |
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XY平台应用
正在寻找非真空环境下适合XY平台应用的激光尺？RLE10-DX-XG是此类应用的理想选择，它使用RLU10激光装置和两个RLD10-A3-P9（平面镜干涉仪90°）发射头。
RLU20激光装置
RLU20在任意一个小时内的激光稳频精度为&plu***n;2 ppb，能够为大部分真空环境应用提供极高测量性能。
特性与优点
将RLU20与适合所需应用的雷尼绍发射头 (RLD) 结合使用具有以下特性与优点：
· 简单的系统结构 — 利用雷尼绍独创的光纤传导系统
· 快速调节准直 — RLD发射头允许激光光束直接射向测量轴
· 结构紧凑且设定轻松 — 系统占用空间和安装时间均***
RLU20概述
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光纤长度 |
仅3 m* |
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轴数 |
单轴或双轴* |
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激光源 |
2类氦*** (HeNe) 激光 |
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输出 |
模拟 / 数字 |
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速度 |
高达2 m/s** |
* 出厂配置
** 取决于型号 / 分辨率
RLU20性能
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激光稳频精度（1分钟） |
‹&plu***n;1 ppb |
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激光稳频精度（1小时） |
‹&plu***n;2 ppb |
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激光稳频精度（8小时） |
‹&plu***n;20 ppb |
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真空波长稳定性（超过3年） |
&plu***n;0.1 ppm |
相对测量应用
正在寻找真空环境下适合相对测量应用的激光尺？RLE20-DX-XP是此类应用的理想选择，它使用RLU20激光装置和两个RLD10-X3-DI（差分干涉仪）发射头。
配置RLE系统
要作为位移干涉仪进行操作，需要将雷尼绍的激光装置与合适的激光头连接。定义RLE系统时，应考虑以下选项：
· 激光源（RLU10或RLU20）
· 光纤长度3 m或6 m（仅限RLE10）
· 校准证书（该选项有附加费用）
· 平面光学镜组或角锥反射光学镜组
· 用于各轴的RLD发射头类型
· 各轴的光束输出方向（不适用于差分干涉仪发射头）
要确定您的具体应用所需的RLE激光尺系统的订货号，只需将您的应用需求输入到订货号生成器中。它将自动计算出必要的系统订货号，该订货号可用于询价或发出订单。
RLD10-PMI（平面镜干涉仪）是双光程干涉仪，其配置适合需要平面镜的应用（例如XY平台应用）。
RLD10-RRI（角锥反射镜干涉仪）是单光程干涉仪，其配置适合需要角锥反射镜的应用（例如更长距离或更高速度的应用）。
RLD10 DI（差分干涉仪）是双光程干涉仪系统，可提供相对测量。非常适合真空室应用。
RLD10-XX（无内置光学镜干涉仪）发射头的设计不带内置干涉镜组。这允许发射头用于带有***光学镜组的序列中，以实现线性、角度和直线度测量。
高性能激光干涉测量领域的***者。
在提供干涉测量激光尺解决方案方面，雷尼绍拥有近25年的经验；激光尺具有广泛的应用范围，从大型航空中心到高精度半导体行业，适合OEM机器制造商采用。
光纤激光尺
RLE系统是独创的***零差激光干涉测量系统，特别为位置反馈应用而设计。
每套RLE系统均包含一个RLU激光装置和一个或两个RLD10发射头，具体型号取决于特定应用的要求。
长距离激光尺
雷尼绍HS20激光头配合外部线性光学镜组件使用时，可组成非接触式干涉测量激光尺系统，用于长轴高精度线性位置反馈。
光纤激光尺产品
RLU激光装置
RLU10在任意一个小时内的激光稳频精度为&plu***n;50 ppb，它是适合大部分非真空环境应用的经济实用的解决方案。
适合要求高测量精度的应用，例如真空环境应用。RLU20在任意一个小时内的激光稳频精度为&plu***n;2 ppb。
RLD10-PMI（平面镜干涉仪）是双光程系统，其配置适合需要平面镜的应用（例如XY平台应用）。
RLD10-RRI（角锥反射镜干涉仪）是单光程干涉仪，适合需要角锥反射镜的应用（例如更长距离或更高速度的应用）。
RLD10 DI（差分干涉仪）是双光程干涉仪系统，可提供相对测量。非常适合真空室应用。
RLD10-XX（无内置光学镜干涉仪）发射头的设计不带内置干涉镜组。这允许发射头用于带有***光学镜组的序列中，以实现线性、角度和直线度测量。
补偿器
采用环境传感器监控机器周围环境，并提供位置反馈信号的实时补偿。
激光尺接口
接受差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号，并通过4096细分，输出36位的并行信号，在1 m/sec的速度下分辨率可达38.6皮米。
RLI20-P使用来自RLE系统的1 Vpp正弦/余弦信号，可提供到Panasonic（MINAS A5系列）控制器的接口。
RSU10 USB接口可接收来自RLE系统的1 Vpp正弦/余弦信号，通过16,384细分，并通过USB端口输出位置读数。
细分盒的REE范围为更低等级的信号细分提供简单的“即插即用”解决方案，使数字正交输出信号的分辨率提高了至少20倍。
光学镜组和组件
高反射率平面镜和可轻松调节的平面镜安装底座，以及信号损失小的真空室窗口。选用这些光学镜组和组件可以使激光尺到达佳测量性能。
光路分开镜组件增加了RLD10-X3-DI差分干涉仪发射头的测量光束和参考光束之间的偏置量。
当与RLD10-A3-XX发射头配合使用时，可使整个测量路径保持在真空环境中。
雷尼绍多光路集成镜用于在XY平台应用中测量6个自由度，它可以利用RLD10-X3-DI干涉仪发射头的优异性能***测量俯仰、扭摆及滚摆误差。
长距离激光尺产品
激光头
雷尼绍HS20激光头是用于长轴高精度线性位置反馈的非接触式干涉测量激光尺系统的核心部件。
补偿器
采用环境传感器监控机器周围环境，并提供位置反馈信号的实时补偿。
光学测量附件
标准线性光学镜组件适合长度达30 m的轴。
利用大反射镜和长距光路分开镜组件，长距离线性光学镜组件适合长度达60 m的轴。
通过激光准直辅助镜在0.6 mrads范围内提供俯仰和扭摆角度调整，从而加快并简化准直过程。
安装硬件
为防止操作过程中激光光束中断，雷尼绍导管可完全包住激光光束，从而在恶劣环境下提供保护。
准直板为激光头和干涉镜组提供稳定的安装位置，并提供平移和旋转调节功能以简化激光准直过程。