引起激光干涉仪测量误差的部分原因：
阿贝误差：因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差，因此光学镜组与运动轴偏置距离越远，引起的阿贝误差越大。
正确方式：设备校准时线性镜组的安装高度应该尽量靠近被测轴，使激光光束与运动轴重合（或尽量靠近），合肥激光干涉仪，减小阿贝误差。
扩展：SJ6000激光干涉仪用户在进行两台同类设备***精度的对比时，应该进行同轴比对，即共用线性镜组，这样才具有可比性。
激光干涉仪机器表面温度的影响之减少及消除的方法
在定“零点”时，若固定光学镜和移动光学镜是并排放置的，则死程误差可以忽略不计。
在移动光学镜位于坐标轴零点位置时，双频激光干涉仪价格多少钱，两个光学元件彼此间距离为***1大的这种机器上，可按下述方法进行预置，以避免激光干涉仪以该点定零点时引起的潜在的死程误差:
①把移动光学镜放在坐标轴零点位置上；
②激光干涉仪定零点；
③把移动光学镜运动到坐标轴另一端(使两个光学镜尽量接近)，激光干涉仪哪个品牌好，注意要保持读数的符号与光栅尺的符号一致；
④当两个光学元件放在***接近的位置时，设置一个与激光干涉仪读数相等的预选值；
⑤在这个相同位置上重新设置零点，其值为预选值。
单频激光干涉仪
从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整1形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式式中λ为激光波长(N 为电脉冲总数)，激光干涉仪哪个牌子好，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。
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