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光学轮廓仪介绍

光学轮廓仪一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。光学轮廓仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

光学轮廓仪应用非常广泛，轮廓仪品牌，可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；可以测量台阶高度和表面粗糙度；可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。

轮廓测量仪选型需要考虑的因素有：

1.被测工件表面轮廓的峰谷的落差值是多少？（此项决定于传感器的选用：大范围？小范围？）

2.测量的要求及不确定度是多少？（此项决定于传感器的分辨率）

3.被测工件表面轮廓的长度是多少？（此项决定于驱动箱的行程—X方向）

4.被测工件表面轮廓的高度是多少？（此项决定于立柱的高度—Z方向）

5.测量的特殊要求？（此项决定于一些特殊的配置，轮廓仪，比如：产品被测表面是否倾斜？有没有深孔？等等）

6.被测量的工件轮廓上有粗糙度要求吗？（此项也决定于仪器的选型）

轮廓仪器测量原理

该仪器直角坐标测量法，触针接触式。机械部份采用精密气浮直线运动导轨，轮廓测量仪，建立X坐标的精密测量基准，Z坐标由光栅传感器构成，可以测量各种精密机械零件的素线形状。本仪器基准直线运动采用精密气浮导轨，移动精度高、稳定性好、寿命长、运动灵活性好、直线性好、操作方便。运动距离采用进口光栅尺计量，光学轮廓仪报价，X轴的尺寸坐标精1确，数据采集及数据处理均采用计算机，测试精度高、功能多，方便打印和存档，为用户带来很大的方便。