DVID系列-C型高性能隔振平台
|
特点: ◆作为半导体FAB用，可在Class 1洁净的室内环境中使用 ◆所有材料均用不锈钢制作，可防腐蚀或退色问题。 ◆安装有防静电装置与能够保持洁净室内空气洁净度的集中排气回收器具。 ◆为减少洁净室内空气阻力使用打孔结构的上板。 ◆打磨焊接珠等粗糙物，便于使用擦拭器，不存在能够积尘的缝隙或弯曲部位。 |
技术指标 ◆固有频率: 1.2Hz ~ 2.0Hz ◆隔振效率: at 10Hz : 75% ~ 95% at 20Hz : 85% ~ 98% ◆水平复位精度 : &plu***n;0.1㎜ ◆静负载 : 500kg ◆自重 : 150 ~ 250kg ◆材料 : 支架及顶部：不锈钢 顶盖：不锈钢 ◆工作气源 : 3~5kg/cm2 压缩空气或瓶装液氮 ◆阻尼形式:孔式空气阻尼 用途 探针台、显微镜、Mask、aligner、A.F.M、S.T.M、 薄膜厚度形状测定仪、其它半导体相关检验装备。 |
