气体质量流量计，即Mass Flow Meter （缩写为MFM），是一种非常***的气体流量的仪表，他的测量不会因为温度或压力的波动而失准，原则上是不需要温度压力补偿的。
气体质量流量控制器，即Mass flow Controller （缩写为MFC），不但具有质量流量计的功能，它本身还能够自动控制气体的流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动的将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度变化，也不会使其偏离其设定值。简单的说，质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体稳流装置。
（1） 气体流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数气体测量控制系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于气体气体质量流量计／气体质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
（2） 气体测量控制的自动化
气体质量流量计／气体质量流量控制器可以将气体流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示，累积流量自动计量，数据自动记录，电脑管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常，模拟的MFC ／ MFM 输入输出信号为0～5V 或 4～20mA, 本公司目前所生产的所有MFC ＆ MFM， 其电子讯号控制方式为模拟式（Analog Type）而不是数字式（Digital Type）的， 敬请知悉。
（3） 可***的定量控制流量
气体质量流量控制器可以***的控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，对于不同气体的比例控制等是特别管用的。
（4）适用范围广
有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10MPa；本公司 MFC／MFM可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如 三***，三氯化硼，***，***等等）； 有很宽的流量范围，产品***小流量可达 0 ～ 5 sccm，***大流量范围可达0 ～ 120 slpm。 流量控制的范围是满量程的 2 ～ 100％（量程比为 50 ： 1），因此在很多领域得到广泛的应用