引起激光干涉仪测量误差的部分原因:
环境因素:环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息,基于Edlen公式计算空气折射率,激光干涉仪厂家电话,以此对激光波长进行补偿。
同时环境补偿单元中材料温度探头能实时高精度测量被测设备温度,合肥激光干涉仪,对其进行温度补偿。但是往往因为操作人员将材料温度探头放置在错误的位置,致使采集的数据不能真实反映被测物体温度状态,从而增大测量误差。
正确方式:在线性测量中,需要开启环境补偿单元,并正确设置补偿材料的种类,放置材料温度探头的位置。在高精度的测量中,需要给予环境补偿单元以及被测物充分的恒温时间。
激光干涉仪阿贝偏置误差的影响
1.影响因素
若激光光束调整得与指1定的坐标轴为平行偏置时,在这种情况下进行测量,光学元件偏置安装引起的角度运动会导致阿贝偏置测量误差。该误差与LΦ成正比,其中,L为偏置距离,激光干涉仪哪个品牌好,Φ为偏置角度。如Φ为0.0028°、L为100mm,所引起的阿贝偏置误差为5μm。
2.减少及消除的方法
由于恒定角度不会导致阿贝误差,所以,在测量时应固紧好移动光学镜以减少偏置角度的变化;尽量使测量轴线靠近机器光栅尺轴线以减少偏置位置距离。
激光干涉仪功能特点:
精度高
以激光干涉技术为核心,分辨力可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。
功能广
具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性***精度、重复***精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并可以校准机床的回转轴。
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为机床误差修正的提供依据。
具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线)及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测量与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析等。
可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动进行环境补偿。
标准多
内置国内外通用的标准,含国标(GB)、ISO(国际)、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)共13份。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
便携性
使用方便:准直激光后,双频激光干涉仪价格多少钱,轻易实现设备线性***、重复***精度、反向间隙、角度、直线度的测量。
携带方便:基本重量为15kg,简单便携。
可定制
测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录;可将检定数据输出到Word、Excel文档。
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