激光干涉仪的开发，给机床工业提供了高精度的标准，适用于各种型号和规格的机床。
使用激光干涉仪测量，必须要考虑到的误差源：
死径误差（死行程误差）。它是一种在测量期间与环境条件的变化有关系的误差。它是由于当围绕激光束的大气压力发生变化（引起激光波长变化）时以及当固定有激光干涉仪和目标反射镜的材料温度发生变化（引起干涉仪和反射镜之间的距离变化）时，激光束行程长度得不到补偿而造成。
简单的讲，激光测量行程的死行程区是指激光干涉仪与测量复位点（或0点）位置间的距离。激光干涉仪自身的补偿系统仅能补偿测量复位点到测量行程终点的距离，而对于死行程区的距离是不补偿的。
引起激光干涉仪测量误差的部分原因：
阿贝误差：因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差，因此光学镜组与运动轴偏置距离越远，合肥激光干涉仪，引起的阿贝误差越大。
正确方式：设备校准时线性镜组的安装高度应该尽量靠近被测轴，使激光光束与运动轴重合（或尽量靠近），双频激光干涉仪厂商，减小阿贝误差。
扩展：SJ6000激光干涉仪用户在进行两台同类设备***精度的对比时，应该进行同轴比对，双频激光干涉仪，即共用线性镜组，激光干涉仪哪个品牌好，这样才具有可比性。
激光干涉仪机器表面温度的影响之减少及消除的方法
在定“零点”时，若固定光学镜和移动光学镜是并排放置的，则死程误差可以忽略不计。
在移动光学镜位于坐标轴零点位置时，两个光学元件彼此间距离为***1大的这种机器上，可按下述方法进行预置，以避免激光干涉仪以该点定零点时引起的潜在的死程误差:
①把移动光学镜放在坐标轴零点位置上；
②激光干涉仪定零点；
③把移动光学镜运动到坐标轴另一端(使两个光学镜尽量接近)，注意要保持读数的符号与光栅尺的符号一致；
④当两个光学元件放在***接近的位置时，设置一个与激光干涉仪读数相等的预选值；
⑤在这个相同位置上重新设置零点，其值为预选值。
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